Специалистам Томского политехнического университета (ТПУ) удалось усовершенствовать одну из ключевых технологий изготовления наноразмерных пленок из соединений металлов. По мнению авторов, разработка позволит быстрее и с большей точностью получать продукцию, востребованную в электронике и оптике, атомной, космической и других областях. Информируют в РИА Новости.
В пресс-службе университета сообщили, что результаты исследования будут представлены на Международном конгрессе по радиационной физике и энергетике EFRE-2022. Магнетронное распыление в настоящее время является одним из самых популярных методов изготовления тонкопленочных изделий из металлов и их соединений. Он позволяет получать покрытия толщиной от 10 нанометров до нескольких микрон путем бомбардировки металлической мишени ионами плазмы.
Создание оксидов и ряда других соединений с помощью этой технологии часто вызывает проблему: атомы неметалла создают на поверхности металлической мишени слой оксида или нитрида, что снижает эффективность процесса обработки. Исследователи предложили новый подход, который повышает качество получаемых покрытий, а также делает процесс более эффективным.
“Мы решили проблему образования нежелательной кислородной пленки на поверхности металлической мишени, добавив этап обработки изделия высокочастотной индуктивно-связанной плазмой. Мы показали возможность высокоскоростного производства пленок оксида меди с требуемым элементным составом”, – заявили ученые.
Новая технология будет востребована в электронике, современной оптике, медицине, космической и атомной промышленности и ряде других областей. Благодаря новому методу скорость получения изделий сократится в 2-5 раз. В качестве модельного материала был использован оксид меди, однако исследователи утверждают, что предложенная технология подходит и для работы с другими соединениями металлов.
