Специалисты Института ядерной физики им. Г. И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук (ИЯФ СО РАН) (Новосибирск) намерены возродить технологический накопительный комплекс (ТНК). Об этом проинформировал директор ИЯФ академик РАН Павел Логачев, пишет «Интерфакс».
Как говорит ученый, ТНК будет востребован для того, чтобы разрабатывать отечественную технологическую цепочку производства микроэлектроники.
“Это будет основной инструмент, который позволит создавать, испытывать и отлаживать технологию так называемых литографов, которые делает, фактически, одна компания в мире”, — говорит Логачев.
По словам специалиста, институт создал установку еще на рубеже 1980-1990 годов. Но она не была запущена, так как развалился СССР.
Если смотреть с технической стороны, то ТНК – это источник синхротронного излучения, корпус для установки, который располагается рядом с заводом “Микрон” в Зеленограде.
Логачев указал, что комплекс будет запущен через 3 года. И это, как отмечает ученый, будет основным элементом разработки литографа. Стоимость проекта достигает около полмиллиона рублей.
Ученый добавил, что ИЯФ приступил к разработке ускорительной части отечественного имплантора для микроэлектроники.
Данные технологии являются ключевыми для того, чтобы функционировала микроэлектронная промышленность.
