В журнале Applied Physics Letters опубликована статья об изобретении Джеймса Хванга, профессора-исследователя кафедры материаловедения и инженерии Корнельского университета. Ученый усовершенствовал обычную микроволновую печь таким образом, что она смогла помочь в создании следующего поколения смартфонов, компьютеров и другой электроники. Изобретение решает главную проблему, стоящую перед полупроводниковой промышленностью, которая заключается в том, что микрочипы продолжают уменьшаться в размерах, а кремний необходимо допировать, или смешивать, с более высокими концентрациями фосфора для получения желаемого тока.
Сейчас производители полупроводников приближаются к критическому пределу, когда нагревание высокодопированных материалов традиционными методами уже не дает стабильно функционирующих полупроводников.
Тайваньская компания по производству полупроводников (TSMC) предложила использовать для этой цели микроволны. Как мы знаем, бытовые микроволновки имеют тенденцию нагревать пищу неравномерно. Аналогичным образом, предыдущие микроволновые печи для отжига создавали “стоячие волны”, которые мешали последовательной активации легирующих элементов.
TSMC сотрудничала с Хвангом, который модифицировал микроволновую печь, чтобы выборочно контролировать место возникновения стоячих волн. Такая точность позволила правильно активировать легирующие элементы, не перегревая и не повреждая кристалл кремния.
К 2025 году должна быть создана новая электроника с использованием технологии, предложенной Хвангом, и изобретатель уже оформил два патента на прототип.
